EDS能谱工作原理:
EDS能谱仪,又名显微电子探针,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线,根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素,检测流程包括电镜样品制备,上机操作分析,后提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。
EDS能谱主要用途:
1、EDS测试与扫描电镜或者透射电镜联用,选定微小位置区域,探测元素成份与含量;
2、EDS测试是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的重要的检测手段;
3、EDS测试是区分有机物与无机物的简便的手段,对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素,基本可以断定含有大量有机物。
EDS能谱试验时间:
1、如果样品不需要切片制样,直接观察对话,那么电子显微镜制样一般半个小时即可,上机观察之前机器一定要保持真空工作状态,半小时内可以得到图像数据。一般可以随来随看。
2、需要用到液氮冷却探头,如果没有加液氮,则需要一个小时时间来等待冷却。
EDS能谱测试对样品的要求:
样品大小受真空室限制,一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。
极限:检测极限,0.01%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般为1微米,束斑大小取决于电子束,与放大倍率有关,放大倍率1000~10万倍,对于金属样品可以更高,对于非金属等不导电的样品可能只能做到5万倍。
EDS能谱测试要求:
对于非金属样品,为了提高放大倍率,需要镀金,样品原貌会有一定改变;
对于金属样品,不用镀金就可以进行元素分析;
EDS能谱测试特殊样品:
对于液态、漂浮粉末、微绒类样品不能做EDS测试;
切片固封树脂如果没有完全固化也不能做,以免发生漏气、漏夜、粘污等情况污染真空室。
EDS测试服务方式:
提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。
SEM&EDS在失效分析领域的应用
PCB失效原因越来越多,在以前看起来难以发现的问题,现在可以用电子扫描显微镜与能谱(SEM&EDS)分析出来。PCB失效分析包括PCB在生产过程中的失效分析、PCB在SMT贴片过程中的失效分析、PCB在化学镍金后可焊性不良分析,经过电子扫描显微镜与能谱(SEM&EDS)分析能够更好的帮助我们分析PCB在生产制作过程中发生失效的根本原因,从而达到找出问题发生的根本原因以及预防问题再次发生的目标。